Para crear dispositivos aún más pequeños, la calidad de las obleas de silicio debe mejorar en gran medida. Los proveedores de obleas tienen que seguir desarrollando procesos simplificados de alto rendimiento durante el proceso de fabricación. Para producir un producto de calidad superior a un precio competitivo se utiliza desde hace años el sistema de control avanzado de procesos (APC).

La clave es contar con un sistema de recopilación de datos preciso, puesto que la tecnología APC depende de las aplicaciones de metrología. En la fabricación de obleas intervienen muchos procesos repetidos. En todos ellos se utiliza un subsistema de APC para detectar y clasificar los fallos (FDC) que permite detectar automáticamente los problemas en el equipo y generar paradas y alarmas.

Requisitos del sistema
Un conocido fabricante de obleas buscaba una solución avanzada para su máquina de pulido de obleas dado que la frecuencia de muestreo original era insuficiente (una muestra por segundo) y daba lugar a una rectificación por exceso. El cambio de la máquina se descartó debido a que estaba todavía en garantía, con lo que la única solución posible era conectar dispositivos externos para medir la corriente alterna del motor del cabezal rectificador sin dañar las líneas existentes. Además era necesario que enviase la señal de salida Normalmente cerrado (NC) para controlar el funcionamiento del cabezal.

Ejecución del proyecto
ADAM-3114-T, Módulo de entrada de corriente de CA aislado
APAX-5017, Módulo de entrada analógica de 12 canales
APAX-5070, Acoplador de módulos de comunicación Modbus/TCP
APAX-5045, Módulo de entrada/salida digital de 24 canales

Diagrama del sistema
Mediante el uso de varios módulos de E/S, Advantech propuso la mejor solución no invasiva para mejorar la frecuencia de muestreo del sistema de recopilación de datos de producción de obleas, que además aumentó el rendimiento de las máquinas.
Para aumentar la frecuencia de muestreo (hasta 3 muestras/s), en el armario de control se instaló el módulo  ADAM-3114-T de Advantech y los productos en serie APAX (incluidos APAX-5017, APAX-5070 y APAX-5045). La falta de intensidad de las señales de CA hizo que Advantech aportase un producto personalizado ( ADAM-3114-T) con acondicionador de señales de entrada de CA aislado, que amplifica las señales de corriente del sensor y envía los datos al  APAX-5017 , responsable de la recepción de las señales analógicas.

Mientras tanto, el acoplador de módulos de comunicación Modbus/TCP APAX-5070  transmite los datos del motor del cabezal al servidor por la Intranet para que el supervisor pueda comprobar el estado operativo de la máquina. Cuando ocurre algún problema, el usuario puede apagar la máquina mediante el módulo de entrada digital APAX-5045, que asume el control del cabezal a través de la salida digital. Advantech también ofrece al cliente la posibilidad de actualizar el sistema. Por ejemplo, con los mismos productos, el usuario solo tiene que incorporar más canales para aumentar la frecuencia de muestreo a 20 muestras por segundo o más.

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